介绍:钛酸锶(SrTiO₃,简称 STO)单晶衬底是一种具有钙钛矿结构的多功能氧化物单晶,核心价值在于晶格常数与多种功能材料高度匹配、介电常数高、光学透明性好且化学稳定性强,是高温超导、铁电、光电与微电子领域的关键衬底材料。
应用:高温超导领域、铁电/压电微电子、光电子光学领域、前沿半导体与量子材料。
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STO钛酸锶衬底
尺寸
5*5mm
10*10mm
厚度
0.5mm
大面晶向
<100>、<001>、<111>
表面状态
单抛SSP、双抛DSP
掺杂情况
非掺、掺Nb、掺Fe
粗糙度
<0.2nm
其他尺寸等参数可定制
性能参数
晶体构型
钙钛矿ABO₃、立方相(室温)
晶格常数
3.905 Å
熔点
2080 ℃
莫氏硬度
6.0~6.5
常温介电常数
≈300(1MHz)
本征电阻率
10¹²~10¹⁴ Ω·cm
禁带宽度
3.2 eV
透光区间
0.38~5 μm(紫外-中红外)
可见光折射率
2.4
化学稳定性
耐酸碱、抗氧化、无固相扩散